专利
微波ECR等离子体阴极环形束电子枪
专利类别: 实用新型
申请号: 201821932032.5
专利号:
申请日期: 2018-11-22
第一发明人: 王功 | 刘亦飞 | 李亮 | 贾新建 | 刘兵山
其他发明人:
专利授权日期: 2019-06-28
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